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洁美科技:柔创纳米将围绕选择性原子层沉积与刻蚀技术开发

金融界5月6日消息,有投资者在互动平台向洁美科技提问:你好,公司参股11%的子公司柔创纳米已成功开发并实现销售的ALD包覆设备,实现了我国在该领域的突破,是继美国之后世界第二家实现该技术产业化的国家。根据其子公司武汉柔电官网,目前其ALD设备主要应用在锂离子电池负极材料或者隔膜材料的改性上,未来该产品是否会寻求在半导体制程方面突破?

公司回答表示:柔创纳米现阶段仍然以ALD在硅碳负极和固态电池材料领域为突破口,未来将会围绕选择性原子层沉积与刻蚀技术与装备进行开发,有望应用在半导体方面。

本文源自:金融界

作者:公告君



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